货币单位抽样法是借用属性抽样，履行了变量抽样的功能。它仿照属性抽样中的“偏差率”的概念，引入样本“错报率”，借助统计数表，通过样本错报率推断总体错报率，再进一步推断总体的错报额。
货币单位抽样法继承了属性抽样在统计方面的简便性，同时又具有变量抽样对总体进行定量估计的功能，提供总体的货币价值量信息。
1、确定样本量
货币单位抽样在确定样本量时，一种简便而又准确的方法就是仿照属性抽样，利用样本量表查得。与属性抽样不同的是，要用可接受误受风险、可容忍错报率和预期总体错报率分别替代可接受信赖过度风险、可容忍偏差率和预期总体偏差率。
（1）可接受误受风险是审计师的一项职业判断，通常可利用审计风险模型得出。
（2）可容忍错报率是根据公式（可容忍错报率=可容忍错报额÷平均错报率假定÷总体记录金额）计算得到，其中，平均错报率的假定也是审计师的一项职业判断，应当以审计师对客户的了解和以往的经验为依据判断。考虑到错报方向，审计师还要对错报率从高报和低报两个方向分别考虑。
（3）预期总体错报率是预期总体错报金额和总体记录金额的比值。
2、选取样本
货币单位样本是使用概率比例选样法选出的。在货币单位抽样下，抽样单位是单个货币单位，但是审计师不能对单个货币单位进行审计，而是找出特定货币金额所对应的物理单位作为样本来实施审计测试。概率比例选样的样本可通过随机数表取得。
3、推断总体
样本选出后，要对样本进行审计测试，确定样本的错报额和错报率，并进一步推断总体。推断总体错报时又具体分为样本未发现错报和发现错报两种情况。
（1）未发现错报时的总体推断：
第一步，根据可接受误受风险、样本量和实际错报数确定总体错报率的界限。
第二步，根据具体情况，运用职业判断估计平均错报率，把推断的总体错报率转化为错报额。
（2）发现错报时的总体推断：
第一步：确定被发现错报的每一个样本的错报额和错报率（错报额÷账面金额）。
第二步：分低报和高报两组确定错报率界限，并计算各项错报引起的错报率界限的增加额。
第三步：将平均错报率与各个层联系起来。将错报率与各个层联系起来的最常用方法是比较保守地将最大的错报率与最大的层相联系。
第四步：计算初始错报上限和下限。
在发现错报时，计算各层错报界限要用样本错报率假定为总体错报率。
第五步：计算高报和低报金额的点估计值并调整初始错报界限。