古代属高卢地区，居民属比利时部族，公元前1世纪为罗马凯撒军团征服。
公元5世纪法兰克人侵入，成为法兰克王国一部分。
法兰克王国分裂后，卢森堡地区在963年成为阿登伯爵西格弗里德的领地。1060年其后裔康拉德成为神圣罗马帝国的卢森堡伯爵，卢森堡领地基本形成。
1308年卢森堡伯爵亨利四世被选为神圣罗马皇帝，称亨利七世，开创了帝国的卢森堡王朝（1308～1437）。
1364年，卢森堡升为公爵领地。
15世纪卢森堡为勃艮第公爵所控制。
16世纪初转归哈布斯堡王朝的查理一世统治。
1556年，转归西班牙国王统治。
16世纪末起，卢森堡的冶铁业开始发展起来。
17世纪，卢森堡卷入三十年战争。
1659年签订《比利牛斯和约》，卢森堡南部一些地区划归法国。
1684～1697年，法国曾占领卢森堡全境。
1714年西班牙王位继承战争结束后，卢森堡随西属尼德兰一起转归奥地利。
1795～1814年，法国占领卢森堡。
1815年维也纳会议决定，卢森堡升为大公国，以尼德兰国王为大公，同时又加入德意志邦联，由普鲁士军队驻防，卢森堡东部一些地区划归普鲁士。
1830年尼德兰分裂为荷兰与比利时两个王国后，1839年伦敦条约规定，卢森堡地区西半部划归比利时，东半部成为以荷兰国王为大公的有独立地位的国家。