夏朝，沂源地属“奄”，兖州辖。
商朝，沂源地属人方。
周朝，沂源地先后属浮莱邑和盖邑，鲁国和纪国辖。
秦朝，沂源地属琅琊郡莒县。 沂源
汉朝，沂源地属兖州泰山郡盖县。东汉，盖县改属琅琊郡。
三国，沂源地属徐州东安郡东莞县。
隋开皇四年（584年），废东安郡建东安县，沂源大部地域属琅琊郡东安县，后东安县废，建沂水县，属沂水，西部地域属鲁郡嬴县，西南部属泰安郡新泰县，西北部属齐郡淄川县，北部属北海郡临朐县。
唐朝，沂源大部地域属莒州沂水县。贞观八年（634年），莒州废，改属沂州沂水县；北部属青州临朐县。 沂源县行政区划图
宋朝，北宋时沂源大部地域属京东东路沂州沂水县，西北部属淄州淄川县；北部属青州临朐县；西南部属泰安州新泰县。南宋，沂源大部属山东东路，仍分辖于莒州沂水县、青州临朐县、淄州淄川县。西南部属山东西路泰安州新泰县。
元朝，沂源大部地域属莒州沂水县，北部属青州临朐县，西南部初属新泰县，皇庆二年（1313年），改属蒙阴县。
明朝，仍分属以上3县。
清雍正八年（1730年），沂水、蒙阴2县改属莒州，临朐仍属青州，沂源地域仍属以上3县。
民国时期，沂源地域仍分属沂水、蒙阴、临朐3县。民国二十九年（1940年）至民国三十三年（1944年）4月，沂源地域先后分属中共新蒙、博莱、沂北、沂中、蒙阴、新泰、沂水、临朐等县。民国三十三年（1944年），建立沂源县，隶中共鲁中行政联合办事处。民国三十四年（1945年），沂源县属鲁中行政主任公署沂蒙专署（1948年改称鲁中南行署）。 沂源县地图
1950年，沂源县改属沂水专区。
1953年，沂水专区撤消，沂源县改属临沂专区，
1978年，沂源县属临沂地区行政公署。
1990年，沂源县划归淄博市。[8]
1962年，东里公社东北地区析出成立张家坡公社。