1409年，宗喀巴倡导宗教改革，创立格鲁派，逐步发展成为藏传佛教影响最大的教派。1542年，拉萨哲蚌寺法台、格鲁派重要领袖根敦嘉措圆寂，寺院认定今西藏拉萨市堆龙德庆县的一名幼童为其转世灵童，经报请当时西藏第司地方政权同意后，于1547年被迎往哲蚌寺坐床，取法名索南嘉措，时称哲蚌寺活佛。1578年，应蒙古土默特部首领俺答汗（明朝封“顺义王”）之请，索南嘉措前往青海相会。俺答汗称索南嘉措为“圣识一切瓦齐尔达喇达赖喇嘛”（指在显宗和密宗两方面都获得最高成就、学识渊博犹如大海一样的上师），从此开始有达赖喇嘛称号。索南嘉措被认为是第三世达赖喇嘛，追认根敦朱巴为第一世达赖喇嘛、根敦嘉措为第二世达赖喇嘛。1587年，明朝中央政府封索南嘉措为“朵儿只唱”（意为“金刚持”），赐印，准许进贡，这是达赖喇嘛世系首次受到中央政府的封赏。1652年（清顺治九年），第五世达赖喇嘛·阿旺洛桑嘉措率众自西藏起程，前往北京朝觐。1653年1月抵京，顺治皇帝会见，待以殊礼，在拉萨布达拉宫内保存完整的顺治皇帝接见五世达赖喇嘛壁画，生动记载了这一重大历史事件。1653年5月，五世达赖喇嘛请辞获准离京，行至代噶（今内蒙古岱海）时，顺治帝派出礼部尚书罗郎丘、理藩院侍郎席达礼等官员，携带满、蒙、藏、汉四体文字的金册、金印前往，册封五世达赖喇嘛为“西天大善自在佛所领天下释教普通瓦赤喇怛喇达赖喇嘛”，正式确立了达赖喇嘛的宗教地位和名号。此后，达赖喇嘛须经中央政府册封，启用印信，成为历史定制。[1]
第一世 根敦朱(dge-’dun grub, 现多译作根敦朱巴，1391-1474)
第二世 根敦嘉措(dge-’dunrgya-mtsho, 1475-1542)
第三世 索南嘉措(bsod-nams rgya-mtsho, 1543-1588)
第四世 云丹嘉措(yon-tan rgya-mtsho, 1589-1616)
第五世 阿旺洛桑嘉措(ngag-dbyangs rgya-mtsho, 1617-1682)
第六世 仓央嘉措(tshangs-dbyangs rgya-mtsho, 1683-1706)[2]
第七世 罗桑格桑嘉措(blo-bzang bskal-bzang rgya-mtsho, 现多译作格桑嘉措1708-1757)
第八世 降贝嘉措(’jam-dpalrgya-mtsho, 现多译作强白嘉措，1758-1804)
第九世 隆朵嘉措(lung-rtogs rgya-mtsho, 1805-1815)
第十世 粗墀嘉措(tshul-khrims rgya-mtsho,现译作楚臣嘉措， 1816-1837)