行政督察专员制度本是南京国民政府在20世纪30年代初创设的，其设置的动因之一是出于“围剿”南方诸省中共领导的工农红军和革命根据地的现实需要。抗日战争爆发后，随着第二次国共合作局面的形成，为适应全民族抗战的需要，中共对其领导的各革命根据地政权体制进行了全面改制，放弃了国共内战时期的苏维埃政权体制，承认南京国民政府的中央指导地位，从体制上改制为国民政府地方政府的政权形态。
正是在这一背景下，1937年9月6日，陕北苏维埃政府正式改制为陕甘宁边区政府。随之，边区政府对其所辖的各级政权进行了改制。在对县、区、乡进行改制的同时，在边区政府之下、县政府之上，根据国民政府地方政府的结构层级形式，设置了专员公署这一层级。从掌握的资料来看，陕甘宁边区政府至迟在1937年10月下旬已进行了专员区域的划分并设置了专员公署，因为在陕甘宁边区政府1937年10月24日发布的《陕甘宁边区政府通令第九号——为各专署增加人员及办公费》中说：“为加强分区对各县领导，自十一月份起各分区行政专员公署除原定的七人外，得增加工作人员二人（共九人），办公费（伙食津贴除外，包括了其他一切费用）每月自二十元〔增〕至三十元。”（注：陕西省档案馆、陕西省社会科学院编《陕甘宁边区政府文件选编》第1辑，档案出版社，1986年，第18页。值得注意的是，这时的专员称为“行政专员”，还未称为“行政督察专员”。）这里的“各分区”，即指“各专区”，边区政府为下月增加各专区专员公署的工作人员和经费而专门发一道通令，足以说明对这一政权层级建制的重视。
边区政府随后在1938年2月15日发布的关于边区行政组织编制的《陕甘宁边区政府命令（第三号）》中，将专员公署的编制定为：专员兼县长1人；秘书2人；署员2人；特务员1人（专员的）；勤务兼通讯1人；伙夫1人；马夫1人、仓库主任1人。共10人。专署内没有再进行科层划分，其他人员显然都是为有利于专员的工作而设的。这时的专署带有初创时期的鲜明痕迹，不用说与边区政府设有民政厅、教育厅、财政厅、建设厅、粮食局、审计处、法院及政府招待所等各机构计有工作人员262人的规模无法相比，就是与县政府设有三科治事、16人的组织规模相比也显得有些太简单了。
专署机构尽管简单，但作为政府制度已经建立，各专署担任着辅佐边区领导各县的重要行政任务。可以说，除了军事、党务不属于专员管理的范围外，根据地的其他事务都在专员必管的范围之内。仅从有关资料中边区政府给各专区专员的指令、训令、指示、信函和关中专员、庆环专员、三边专员给边区政府的呈文、报告等来看，专署确实是边区政府领导全区工作不可缺少的臂膀。[1]