熔点：-90℃
沸点：-86℃
折射率：1.207
临界温度：-1.5℃
临界压力：5.07MPa
外观：无色气体
溶解性：溶于乙醇、硝酸、氢氟酸，不溶于乙醚[1]
与碳酸钠溶液发生不完全水解反应：
3SiF4+2Na2CO3+2H2O=H4SiO4↓+2Na2SiF6↓+2CO2
与氢氧化钠反应较为彻底：
SiF4+6NaOH=Na2SiO3+4NaF+3H2O
与氢氟酸生成氟硅酸（六氟合硅酸）：
SiF4+2HF=H2SiF6 ，后者为强酸，酸性与硫酸相当。
疏水参数计算参考值（XlogP）：2.1
氢键供体数量：0
氢键受体数量：1
可旋转化学键数量：2
互变异构体数量：2
拓扑分子极性表面积（TPSA）：17.1
重原子数量：11
表面电荷：0
复杂度：152
同位素原子数量：0
确定原子立构中心数量：0
不确定原子立构中心数量：0
确定化学键立构中心数量：1
不确定化学键立构中心数量：0
共价键单元数量：1[1]
急性毒性：大鼠吸入LC50：2272ppm[1]
主要用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂、制造纯硅的中间体。
储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与酸类、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
S7/9：Keep container tightly closed and in a well-ventilated place.
保持容器严格密闭，置于通风良好的场所。
S23：Do not breathe gas/fumes/vapour/spray.
不要吸入气体/烟雾/蒸汽/喷雾。
S24/25：Avoid contact with skin and eyes.
避免皮肤和眼睛接触。
S26：In case of contact with eyes, rinse immediately with plenty of water and seek medical advice.