“城隍”这个名词最早的文献记载，可以追溯到《周易．泰封》：“城复于隍，勿用师”；《易经》中又言：“城复于隍，其命乱也”，在这里所说的“城”是指“城廓”、“城壁”、“城墙”，“隍”则是“城堑”，指城外护城的壕沟，也就是指“护城河”，“城隍”的意义就是防守城池的护城河。其意是指如果城墙倾覆时，是为乱兆，为政者应应息武止戈，不可穷兵黩武。 城隍庙
《梁书．陆襄传》中也曾记载陆襄曾率领城中百姓官史一起修城隍的事情。
《说文解字》曰：“城，以盛民也”，“隍，城池也。有水曰池，无水曰隍”《周易》亦有“城复于隍，勿用师”之语。
“城隍”一词连用，首见于班固《两都赋·序》：“京师修宫室，浚城隍”城隍神的奉祀，古人有始于尧，始于汉，始于三国诸说，然所据不足，无可凭信。有史可征者，约在南北朝《北齐书·慕容俨传》载：北齐文宣帝天保六年（555）慕容俨镇守郢城，被南朝梁军包围，梁军以荻洪截断水路供应，形势危急
“城中先有神祠一所，俗号城隍神，公私每有祈祷。于是顺士卒之心，乃相率祈请，冀获冥佑。须臾，冲风歘起，惊涛涌激，漂断荻洪”这是关于城隍神显灵护城的最早记载。
民间奉祀城隍最初以为城池、地方的保护神，前引《北齐书·慕容俨传》所记城隍帮助慕容俨退梁军，即是一例。稍后人们又奉城隍为主管阴司冥籍之神，《茶香室丛钞》卷十六谓：“《太平广记》引《报应录》云：‘唐洪州司马王简易，常暴得疾，梦见一鬼使，自称丁郢，手执符牒云，奉城隍神命来追，王简易即随使者行，见城隍神。
神命左右将簿书来检，毕，谓简易曰：犹合得五年活，且放去’是唐时城隍之神，已主冥籍，如今世所传矣。”道教至迟在唐代即奉祀城隍。它因袭民俗，亦视城隍为保护地方、主管当地水旱疾疫及阴司冥籍的神灵。
城隍的观念源自道教，其后与儒教结合相互影响。最早记载城隍的是《周易》：“城复于隍，勿用师”。最早祭城隍只筑土坛，无庙无像。正如《凤山县志．祀典志》所载：“城隍庙无专祭，而水旱、疾疫必祷之，致敬、宿斋必告之；故立之庙，使神有所凭依也。”设置城隍庙祭祀，大抵从道教成为民间信仰才出现。
城隍崇拜可追溯到周朝，是除夕要祭祀八个神之一－－水庸。据《礼记》所载，古代皇帝祭祀“八蜡”中的“水庸”，就是祭祀城隍。相传三国时代的吴国曾建城隍庙；另在《北齐书》记述，北齐大将慕容俨就曾于郢城拜城隍神祠而战胜了南梁敌军。而《隋书．五行志》记载：“梁武陵王纪祭城隍神，将烹牛，忽有赤蛇绕牛口。”由此可知，在南北朝的城隍普遍为民间信仰。
由汉代开始，城隍的祭祀活动不断提升，更尊封已死功臣为城隍，其中有：霍光和纪信等。