春秋
为晋之地。
战国
前期属韩,后属赵。
属上党郡。
西汉
置谷远县
新莽
改谷远为谷近县。
三国
为魏之地。
废县，属上党郡。
南北朝
北魏建义元年（528年），始置沁源县，县治在今城南一里许。同年，于沁源县置义宁郡，领团城、义宁、安泽、沁源等县。
北齐，北周时，沿用不改。
开皇十六年（596年），治沁州，州治在沁源县城南。同年，沁源北部始置绵上县，属西河郡。 共3张 沁源县
大业（605—618年）初，沁源属上党郡。
义宁元年（617年），仍复义宁郡。
武德（618—626年）初，复沁州治。同年，又在沁源西部，分设招远县，沁州。
武德三年（620年），废，招远县仍归沁源县。
天宝元年（742年），改沁州为阳城郡。领沁源、和川、绵上。
乾元（758—760年）初，复称沁州，故治在沁源县。
属威胜军。
太平兴国二年（977年），威胜军在铜乱柳石围中，即今沁县城置沁州，从此，沁州便从沁源迁到沁县，沁源县仍属沁州。