单尾目昆虫外骨骼由薄的几丁质以及坚硬的蛋白质构成。这种薄而防水的外壳在活着的时候比三叶虫的外骨骼优越，但死后在氧化环境下难以保存。所以发现的志留纪、泥盆纪的节肢动物化石中多为三叶虫，昆虫化石非常少。 Monura
单尾目昆虫最终在约2亿5140万年前的二叠纪-三叠纪灭绝事件（permian–triassic extinction event）中与外翅总目、古网翅总目（古网翅目）、protelytroptera（舌鞘目的一亚目）、原蜻蜓目一起灭绝。