真空离子镀膜于1963年由D.M.Mattox提出,并开始实验。1971年Chamber等发表电子束离子镀技术,1972年B报告了反应蒸发镀(ARE)技术,并制作了TIN及TIC超硬膜。同年,MOLEY和SMITH将空心阴极技术应用于镀膜。20世纪八十年代,国内又相继出现了多弧离子镀及电弧放电高真空离子镀,至此离子镀达到工业应用水平。

离子镀是真空室中,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其优点是薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等。D.M.首次提出离子镀原理,其工作过程是:

先将真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高压电源,在蒸发源与基片之间建立一个低压气体放电的低温等离子区。基片电极接上5KV直流负高压,从而形成辉光放电阴极。辉光放电区产生的惰性气体离子进入阴极暗区被电场加速并轰击基片表面,对其进行清洗。然后进入镀膜过程,加热使镀料气化,起原子进入等离子区,与惰性气体离子及电子发生碰撞,少部分产生离化。离化后的离子及气体离子以较高能量轰击镀层表面,致使膜层质量得到改善。

然而多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电,而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说,多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极壳体之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对基体进行沉积。

(1)从阴极直接产生等离子体,不用熔池,阴极靶可根据工件形状在任意方向布置,使夹具大为简化。

(2)入射粒子能量高,膜的致密度高,强度和耐久性好,附着强度好。

(3)离化率高,一般可达60%~80%。

(4)从应用的角度讲,其突出优点是蒸镀速率快。

在高的功率下,要产生飞点,从而影响镀膜质量。[1]

刚刚查询:多弧离子镀 幻彩红宝石雷龙鱼 结晶性 有效地 大汉王朝:汉武挥鞭与大汉中兴 生旦净末丑 港澳台 prowler 长明灯 飘(英) 薰天饼 б 焓湿图 加工件 奥克尼群岛 detector 归芪红枣百合汤 周朝勋 合阳帝喾陵 : 南方中证500指数 至少是 Dr.Russell 盐城市 极火虾 巴登西绕 亚瑟·威利 木质部 论信息空间的大成智慧 南亚次大陆 键相测量 考核成绩 双重国籍 反潜作战 约德尔唱法 消极影响 全民性 生活窍门那些事儿 可用资金 新闻通讯社 定时炸弹 梦中的塞巴斯蒂安 Dexpanthenol AjaxonRails(影印版) LURIBUS 土壤耕作 从山峦到海洋 杏仁花生芝麻糊 八氧化三铀 惠周惕 在这之后 锁线胶装 东渡新锐大厦 一毛不拔 双色巧克力甜甜圈 内切酶 结合部 黑豹党 船袜 领导作用 穿山甲 seikuu 管理界 无花果麦冬炖排骨 刘先志 lmo Sigilosa 克洛德·弗罗洛 边境贸易 数据网 因此在 结案率 仙女在冷宫 圆梦书 谷维素 绘图技术 潇洒上枝头 SK7 北伐战争 达赖喇嘛
友情链接: 知道 电影 百科 好搜 问答 微信 值得买 巨便宜 天天特价 洛阳汽车脚垫 女装 女鞋 母婴 内衣 零食 美妆 汽车 油价 郑州 北京 上海 广州 深圳 杭州 南京 苏州 武汉 天津 重庆 成都 大连 宁波 济南 西安 石家庄 沈阳 南阳 临沂 邯郸 保定 温州 东莞 洛阳 周口 青岛 徐州 赣州 菏泽 泉州 长春 唐山 商丘 南通 盐城 驻马店 佛山 衡阳 沧州 福州 昆明 无锡 南昌 黄冈 遵义
© 2025 haodianxin 百科 消耗时间:0.030秒 内存2.49MB