1988年5月10日经国务院正式批准成立，1992年5月被国家科委、国家体改委正式确定为全国高新技术产业开发区综合改革试点区。1989年11月世界科技园区协会第五届会上，试验区被接纳为该国际组织的成员。
1993年7月14日，试验区首次认定接纳私营企业——用友公司为新技术企业。 中关村科技园区海淀园
1995年12月，中关村海关正式开关，海关设在北京市新技术产业开发试验区内，这是经国务院批准的在国家级新技术开发区设立的第一个海关。
1996年，北京新技术产业开发试验区已成为中国的“硅谷”，成为亚洲最成功的四个高科技园区之一。
1997年，该试验区被列为“中国亚太经济合作组织科技工业园区”，江泽民总书记题写了园区名；同时被国家科委授予“国家高新技术产业开发区”。
该试验区是中国第一个以电子信息产业为主导，集科研、开发、生产、经营、培训和服务为一体的综合性基地。在投资环境方面，中关村地区是中国最大的，也是世界上少有的智力密集区。这里有50所高等院校、138所科研院所、10万多名科技人员，建成了许多第一流的实验室，配备了大量的科研仪器和设备。
到1996年底，试验区内的高新技术企业达4506家，形成了114家企业集团，其中有10多家成为较有影响的跨国公司。
1999年6月，国务院批准创建北京中关村科技园区。中关村科技园区包括100平方公里的北京市新技术产业开发试验区，1.8平方公里的上地信息产业基地和2平方公里的永丰工业中试基地，以及正在开发的约0.5平方公里的中关村西区。
中关村科技园区的用地功能分为三个部分：中心区、发展区、辐射区。中心区大体范围是南起西外大街，北至规划公路一环，西起京密引水渠，东至八达岭高速公路。中心区包括一个核心区和两条主要轴线。核心区包括中国科学院、北京大学、清华大学和中关村西区。白颐路是中心区的主要轴线，连接北大、清华、中科院、中关村西区和农科院、人民大学等高校与科研机构以及国家图书馆、首都体育馆、紫竹院公园等文体设施。学院路为中心的另一条轴线。发展区大体范围是规划公路一环以北，海淀区山后地区、清河地区以及昌平县的西三旗地区、回龙观地区。辐射区主要是“一环两线。一环”是指环市区的高科技工业园区、包括电子城、北京经济技术开发区、丰台科技园区、昌平科技园区等；“两线”即沿八达岭高速公路向沙河、昌平、南口方向辐射和沿京密路向顺义、怀柔、密云方向辐射。