由于锂电池内部要严格控制水分含量，水分对锂电池的性能影响很大，包括电压、内阻、自放电等指标。水分含量过高会导致产品报废、品质下降，甚至产品爆炸。因此在锂电的多个生产工序中分别要对正负极片、电芯和电池进行多次真空烘烤，以尽可能去除其中的水分。
锂电（电池）专用真空烘箱
沸点随着气压的下降而降低。水的沸点在负压下显著降低，在气压降至-0.089Mpa时，理论沸点可以降至至45℃。在负压环境下，水分更易于气化。
锂电（电池）专用真空烘箱
锂电专用烘箱在常压下加热一段时间后电池或极片中的水分转化为水蒸气；水分蒸发后抽真空可以将水蒸气抽出；充氮气破真空，保持干燥环境。实际的烘烤过程中根据不同的工艺以上三个步骤先后各不相同，一般都要多次循环。
在锂电池行业应用最为广泛的有三层真空烘箱、单层真空烘箱、对开门真空烘箱、四门圆仓真空烘箱等规格，其中三层真空烘箱（665mm宽×310mm高×750mm深×3层）使用最为广泛。可以用来烘烤分切后的极片、电芯和注液前的电池。
锂电（电池）专用真空烘箱
四门圆仓真空烘箱（φ450mm、φ550mm、φ600mm、φ650mm），也有单门圆仓真空烘箱、六门圆仓真空烘箱等型号。圆仓真空烘箱可以用来烘烤涂布完的整卷极片，此类烘箱的烘烤可以辊压和分切之前显著降低整卷极片中的水分，在动力电池生产过程中已经开始逐渐推广。。
对开门真空烘箱，一般是三层，可以镶在干燥车间和注液车间之间的墙上。干燥车间将物料放入烘箱，完成烘烤后可以直接充主页车间一侧取出，注液。提高了流转效率，更重要的是避免了从真空烘箱取出物料运送至另一个车间中环节中水分再次浸入的可能性。
全自动真空烘箱，以上的规格在生产使用中都有手动型和自动（程控）型，手动型可以通过按钮进行加热、抽真空、充氮气，加热计时等功能；自动型可以根据具体工艺编制烘烤程序设定烘烤时间、温度，自动循环次数等参数，全程无人值守，程序完成自动停机。
磁悬浮双循环真空烘箱是真空烘箱领域的换代产品，采用独立研发磁悬浮动力系统，完美解决了传统技术中的磨损严重、真空泄露、风机损坏等常见问题，提供一个全封闭、无阻力零泄漏的真空烘箱环境。在节能和效率方面有明显提高，较传统真空烘箱节能30%以上。